早在19世紀，人們就認識到了臭氧的強氧化作用，發現臭氧對木材、稻草、淀粉、植物色素、天然橡膠、脂肪、動植物油與酒精等物質都有氧化作用。1868年，德·格貝斯（de·Gebeth）獲得了臭氧應用技術的*項，用臭氧將煤焦油混合物氧化為適于涂料、油漆使用的產品。1873年，歐洲將臭氧在食糖精制和亞麻漂白方面投入使用。一百多年來臭氧應用已深入到多個領域，對人類的生產技術發展做出了重大貢獻。臭氧應用按用途分為水質處理、化學氧化、食品加工保鮮和醫療四個領域，各個領域的應用研究與設備開發都已達到相當高的水平。世界已經形成了獨立的臭氧技術產業和部門，1973年建立的臭氧協會（IOA）設在加拿大。該協會每兩年一次舉辦會議交流各國發展臭氧技術的論文、報告，發達國家都普遍建立了IOA地區性組織，進行學術交流。
二戰以后，上臭氧應用技術獲到了長足發展。首先，1902年，德國帕德博恩建立了*座用臭氧處理水質的大規模水廠，開創了臭氧水處理的先河，現在世界上已有數千座臭氧水廠歐美、日本、加拿大等國家的自來水廠應用臭氧已達到普及程度。礦泉水、純凈水廠家幾乎都裝備了臭氧設備。美國七十年代初開始利用臭氧處理生活污水，主要是為了滅菌消毒、去除污染物、脫色等達到排放標準。日本則在缺水地區將污水用臭氧處理后作為中水使用。美、日、德、法等國家近年來都建立了大規模的臭氧污水處理廠。其次，工業應用臭氧也已非常普遍，主要用于化工、石油、造紙、紡織和制藥、香料工業。食品行業的應用更為普及，1904年歐洲就利用臭氧對保存牛奶、肉制品、奶酪、蛋白等食品進行保鮮處理，三十年代末，美國80%的冷藏蛋庫都安裝了臭氧發生器。二戰后，歐美、日在食品果品、蔬菜保鮮中將臭氧運用到儲存、制造、運輸等各個環節。在醫療方面，二戰時日本就利用臭氧進行人體理療，俄羅斯則用于強氣（臭氧化空氣）體育人應用。目前，上在醫療方面已有多種用途：如病房、手術室的空氣消毒，利用臭氧水進行醫用器械消毒，采用臭氧進行牙科疾病治療（口腔手術及保持口腔無菌），采用臭氧與放射理療結合治療癌癥，喝臭氧水治療婦女病，注射臭氧氣體治療瘺痔、靜脈曲張等。在保健方面，日本、中國臺灣流行吸強氣（含低濃度臭氧的空氣）以強身，用臭氧化水淋浴身體殺體菌和美容。現在流行的高科技美容，事實上就是應用臭氧。 
臭氧的主要功能

殺菌： 可以迅速而*的消減消除空氣中、水中的病毒及細菌。據學術單位實驗報告指出：水中臭氧濃度在0.05ppm時，經處理十至十幾分鐘，細菌殺滅率在99%以上。

解毒： 由于工商業的發展與高度物質文明享受，在生活中到處充滿各種對人體有害的物質：例如：一氧化碳、農藥、重金屬、化肥、有機物、臭味、色素等等，經臭氧處理后，都會分解成對人體無害的安全物質。

保鮮： 美、日及歐洲先進國家，已大量將臭氧應用在各種食品的儲存上，可以 延長食品的貯藏期及降低腐壞率，以降低損失、提*。

漂白： 因臭氧有很強的氧化作用，所以本身就是很強的漂白劑，可應用于洗衣、食品、廢水處理。

除臭： 因臭氧有很強的氧化分解能力，可迅速而*的消除空氣中、水中的各種異味。

臭氧的應用

在現階段，臭氧技術在各個領域的應用主要有以下幾個方面：①飲用水、工業廢水、生活污水、游泳池水處理和醫院污水處理；②食品行業和制藥行業醫學中的空氣殺菌消毒及原料、加工器具和場地的清洗消毒；③水果、蔬菜和食品的保鮮和運輸；④醫學中的臭氧治療和疾病預防；⑤化學工業中的餓紙漿和紡織品的漂白；⑥水產養殖業中的用水處理；⑦家庭居室空氣凈化消毒、蔬菜瓜果表面的殘留農藥降解；⑧畜禽養殖廠的空氣殺菌消毒、除臭、除異味等等。
各類公共場所
利用臭氧的強氧化特性可去除裝潢、合成板、油漆所釋放出來的有毒物質，可殺滅空氣中細菌、病毒，殺滅地毯中滋生的微生物，消滅感冒病菌，預防流感的發生。分解附著于蔬菜水果中的殘余農藥。提高魚、肉鮮度，使更耐久存，保存水果蔬菜。用臭氧水來沐浴具有漂白、美容、保健等作用。廚衛等處除臭。
醫療保健
臭氧可用于醫療場所的空間空氣殺菌消毒，臭氧水可對醫院手術前醫生、護士的雙手消毒，可殺死所有細菌，不僅時間極短，其殺菌力遠遠超過酒精和氯。而且臭氧水具有可靠的安全性。
臭氧還有治療某些疾病和美容的作用。如經常用臭氧水洗、泡腳可以有效治療和預防腳氣、腳癬；經常用臭氧水沖洗真菌感染的皮膚病區可以收到顯著治療效果；經常用臭氧水沖洗傷口可以預防傷口感染，促進其愈合等。
在食品行業中的應用
食品加工行業應用臭氧的目的有四個方面：一是殺滅微生物--殺菌消毒；二是氧化分解有機物或無機物污染氣體--除臭凈化；三是分解果蔬代謝產物，抑制后熟過程--保鮮；四是降解瓜果蔬菜等食品中的農藥殘留--解殘。四方面的應用基礎均依賴于臭氧的強氧化性能和不穩定易分解的特性。具體可在食品加工業的應用和食品水果保鮮業中的應用。
在畜禽養殖業
能快速殺滅養殖場室內空氣中的各種常見的細菌、傳染病毒、真菌、支原體、螺旋體等病原微生物，去除因糞便發酵后產生的大量氨氣、硫化氫、甲烷等有害氣體及糞便臭味，減少畜禽疾病，特別是防止大面積流行性傳染病的爆發，提高成活率及畜產品產量，節省用工用藥費用，改善場內生產環境。養禽業中對種蛋的滅菌保鮮，提高孵化率。
在水處理中的應用
可氧化多余或有毒的無機物，氧化去除水中有機物，特別是微生物難以降解的有機物，如表面活性劑，降低水中BOD和COD，殺滅水中病毒、細菌，生成潔凈無害的消毒水。可廣泛應用于飲用水殺菌、中水回用凈化、污水處理、溫室土壤消毒、游泳池水處理和醫院污水處理。